Systemkomponenten:

Chemikalienschrank/Lagertank → Haupttransferleitung → Ventilkasten → Maschinenentnahmestelle

Begleitheizung/Isolierleitungen, Stickstoffspülleitungen, Leckageerkennungssystem, Abgassammelleitungen

Zusätzliche Komponenten: Filter, Druckregelventile, Durchflussmesser, Notabsperrventile

Anforderungen an das Rohrmaterial (Halbleiterqualitätsstandard)

l Hochreine PFA/PTFE-Schläuche: Beständig gegen starke Korrosion, geringe Ausfällung, kein Partikelabrieb, geeignet für gängige pharmazeutische Lösungen.

l Edelstahlrohre SUS316L EP/BA: Elektrolytisch poliert/blankgeglüht, Innenwandrauheit Ra ≤ 0,5 μm, für Gas-/Reinstwasseranwendungen.

l PVDF-Schläuche: Beständig gegen Säuren und Laugen, hohe Temperaturen, häufig verwendet für Abwasser und einige Chemikalien.

l Strengstens verboten, Kupfer, Zink und andere Verunreinigungen zu enthalten, um eine Metallionenkontamination der Wafer zu vermeiden.

Fallstudien: