Von der zentralen Chemikalienversorgungsanlage (CDS)/Chemikaliendosieranlage (CMD) bis hin zu den präzisen Endpunkt-Zufuhrleitungen (IPLs) zwischen der zentralen Chemikalienversorgungsanlage (CDS) und den Endpunkt-Prozessanlagen (wie z. B. CMP-, Ätz- und Diffusionsanlagen) sind diese Leitungen für die sichere, verunreinigungsfreie und unvermischte Zufuhr von hochreinen/korrosiven Chemikalien zum Einsatzort (POU) verantwortlich.
l Prüfen Sie anhand der UM/UT-Geräteschnittstellentabelle, ob Durchmesser, Druck und Durchflussrate mit der Konstruktion übereinstimmen.
l Überprüfung des Materialeingangs: Materialzertifikat, Reinheitsbericht und Siegelkompatibilitätszertifikat.
2. Bauprozesssteuerung
l Reinraumbau: Die sekundäre Vorfertigung erfolgt im Reinraum, anschließend wird das Bauteil versiegelt und in den Reinraum verbracht; die Bauwerkzeuge sind deklariert und frei von Ölflecken.
l Schweißen und Verbinden:
l Edelstahlrohr: vollautomatisches Argon-Lichtbogenschweißen, Argonschutzgas, keine Oxidationsverfärbung.
l PFA-Rohr: Heißschmelz-Stumpfschweißen, glatte Schweißnaht ohne Stufen, Vermeidung von Blasen/Schlackeeinschlüssen.
l Antistatische und umweltschonende Maßnahmen: Zwischen Edelstahlrohren und Kohlenstoffstahlträgern werden PTFE-Isolierpads angebracht; bei Rohrdurchführungen durch Böden/Wände werden Hülsen installiert und die Zwischenräume mit nicht brennbaren Materialien gefüllt.
l Neigungsdesign: Die Rohrleitung weist ein Gefälle von ≥1% auf, um die Selbstentleerung zu gewährleisten und tote Winkel zu vermeiden.
Fallstudien
Fokus auf Halbleitergas- und Chemikalienübertragungssysteme
Internationales Unternehmen für Anlagenmanagement und technische Lösungen
