Systembeschreibung

Spezialgas-Sekundärverrohrung (auch „Hook-up“ genannt) bezeichnet die präzise Endverteilungsleitung vom zentralen Versorgungssystem der Werkstatt (VMB/VMP) zu den Prozessendgeräten (z. B. Ätzanlagen, CVD-Anlagen).

l Lieferung von Gasen mit ultrahoher Reinheit: Garantiert eine Gasreinheit von ≥99,9999 % (6N), frei von Verunreinigungen und Kontaminationen.

l Präzise Durchfluss- und Druckregelung: Erfüllt die strengen Anforderungen der Halbleiterprozesse, bei denen bereits geringste Schwankungen zu Ertragseinbußen führen.

l Sicherheitsschutz: Leckageschutz, Explosionsschutz, Notabschaltung (ESD).

l Reinraumtauglichkeit: Installation in Reinräumen der Klassen 100/1000.

Bau- und Abnahmeanforderungen.

l Schweißen: Vollautomatisches Orbitalschweißen (WIG) ohne Oxidation und mit höchster Nahtqualität.

l Reinheitsbehandlung: Entfetten, Beizen, Passivieren und Spülen mit hochreinem Stickstoff.

l Prüfung:

l Heliumleckerkennung: Die Gesamtleckrate des Systems erfüllt die Standards

l Partikel-/Feuchtigkeitsprüfung: Stellt sicher, dass keine Verunreinigungen vorhanden sind.

Ausführungsbeispiele