Systembeschreibung

Das GMS-System als Life-Support-System liegt sein zentraler Wert in:

Durch die Echtzeitüberwachung des Zustands der Gasversorgungsanlagen sowie durch automatisierte Alarme und Steuerungsmechanismen werden die Sicherheit und Stabilität der Spezialgasversorgung gewährleistet und somit die Sicherheit der Halbleiterproduktionsumgebung und der kontinuierliche und effiziente Betrieb des Fertigungsprozesses sichergestellt.

Vorteile

Das PLC-Programm verwendet einen ausgereiften Algorithmus. Nach der einmaligen Inbetriebnahme müssen bei späterer Hinzufügung von Detektoren (GC, VMB) keine erneuten Programmierungen des PLC-Programms durchgeführt werden, wodurch häufige Programmänderungen und die dadurch verursachten Fehler (wie z. B. unbeabsichtigtes Abschalten von Gasversorgungsgeräten) reduziert werden.

Das PLC-Programm kann einmalig bis zu 5000 Detektoren, 1000 GCs und 2000 VMBs erfassen.

Funktionstests können vor der Live-Schaltung simuliert werden.

Es kann Hausbesitzern Anleitungen geben, wie sie Detektorprogramme einfach hinzufügen können.

Als Werkzeuge werden PLC-Programmiersoftware, Zeichensoftware und BIM eingesetzt.

Design-Fallstudien