Einführung in das Hauptsystem

Das Hochspannungs-Hauptstromversorgungssystem, das Strom aus dem Hochspannungsnetz/externen Umspannwerk bezieht, wird vom Hauptumspannwerk im Werksbereich heruntertransformiert und verteilt und dann an die Umspannwerke in den einzelnen Werken weitergeleitet. Es ist die Quelle und das Rückgrat der Stromversorgung der Halbleiterfabrik.

·  Hohe Zuverlässigkeit erfordert N+1- oder 2N-Redundanz, um ein Aussortieren der Wafer aufgrund eines plötzlichen Stromausfalls zu vermeiden.

·  Hohe Stabilität, geringe Spannungsschwankungen, geringe Oberschwingungen und keine häufigen Auslösungen.

·  Zu den hohen Sicherheitsmerkmalen gehören Brandschutz, Explosionsschutz und Isolationsüberwachung gemäß den NFPA/IEC-Normen.

·  Es besteht die Möglichkeit, es durch die Reservierung von Stromschienen- und Transformatorkapazitäten für zukünftige Prozessmodernisierungen zu erweitern.

Bei der Implementierung von Stromversorgungssystemen muss der erhebliche Einfluss von Stromstörungen auf die Betriebskosten, die Prozesseffizienz und den Ertrag des Unternehmens berücksichtigt werden. Daher ist eine zuverlässige und flexible Stromversorgung ein entscheidender Wettbewerbsvorteil.

Fallstudien